CVD-用于碳纳米管生长

2024/10/30

案例简介

客户单位：江苏某半导体材料公司

设备名称：CVD

炉管材质：高纯石英

所通气氛：氮气

设备用途：用于碳纳米管生长。

设备优势

1.占地小功能强大，集成了加热、射频、精准质量流量计供气、精密气化、高真空系统。

2.整套设备可在真空/气氛保护环境下工作。

3.触摸屏界面友好、实用，可显示和监控设备运行状态，可调用、编辑和存储烧结工艺，并具动态显示、历史数据可记录并导出功能。

CVD客户现场实拍图