以上参数可根据工艺要求进行调整，不作为验收依据，具体以技术方案和协议为准。

• 加热区尺寸

  加热区客户可以根据处理材料的大小选择适合的尺寸。

• 炉体结构

  可选升降式炉、钟罩炉等炉型，炉体结构有卧式/立式等，根据需求可定制不同结构。

• 气氛条件

  气氛条件一般可通气氛为氮气、氩气等惰性气体，如果需要通入气体，可以单独设计气体进出口。

• 真空环境

  利用机械泵与分子泵组合，可实现从低真空（10⁻¹-10⁻² Pa）到高真空（10⁻³Pa）的精确控制。

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