RTP快速退火炉能够在短时间内将材料加热到预定温度，升温速率可达50℃/s甚至更高。同时，退火完成后能够迅速冷却降温，整个退火过程可以在短时间完成。
基本参数最高温度：1000℃ 工作温度：≤900℃ 真 空 度：可选 控温精度：±1℃ 工艺应用：对样品进行快速热处理，为半导体或太阳能电池基片的退火而设计。
在线客服咨询热线：18137195607RTP快速退火炉是一款可以快速热处理的管式炉，配有石英腔体和真空法兰，采用卤素灯加热，升温速度可达50℃/秒，PID自动控制，30段可编程序，它是为半导体或太阳能电池基片的退火而设计。该快速退火管式炉可在真空、气氛环境下，对样品进行快速热处理，主要应用于院校实验室、工矿企业实验室，如：薄膜沉积，不同材料快速退火、硅化、扩散、晶化和致密化等。
RTP快速退火炉具有快速加热和冷却的能力，可以在短时间内完成高温处理，提高生产效率。
采用的PID调节技术和多段程序编程控温方式，控温精度高，可满足不同材料和工艺对温度控制的严格要求。
优先选择触摸屏控制系统，支持多段程序控温（如升温、保温、降温曲线预设）。
可选配气体混配系统、质量流量计、真空泵、PC电脑显示等。
| 名称 | RTP快速退火炉 | ||||
| 处理晶圆尺寸：2英寸 | 处理晶圆尺寸：4英寸 | 处理晶圆尺寸：6英寸 | |||
| 炉管外径 | 100mm | 炉管外径 | 110~150mm | 炉管外径 | 180~200mm |
| 加热区尺寸 | 200mm | 加热区尺寸 | 300mm | 加热区尺寸 | 400mm |
| 最高温度 | 1000℃ | ||||
| 工作温度 | ≤900℃ | ||||
| 加热元件 | 红外灯 | ||||
| 热电偶 | N型 | ||||
| 炉管材质 | 石英 | ||||
| 控温方式 | PID控制和自整定调节，智能化30段可编程 | ||||
| 温控保护 | 超温和断偶保护功能 | ||||
| 加热速率 | 建议0~50°C/S | ||||
| 温控精度 | ±1℃ | ||||
| 温区数量 | 单温区 | ||||
| 炉膛材质 | 高纯氧化铝耐火纤维 | ||||
| 炉壳结构 | 碳钢外壳，双层壳体并配有风冷系统 | ||||
| 炉体结构 | 开启式 滑道式 | ||||
| 工作环境 | 常压/真空状态/气氛状态 | ||||
| 工作电源 | 220/380V,50HZ( 按需求定制) | ||||
| 密封 | 不锈钢真空法兰，带阀门和一个机械压力表 | ||||
| 其他可选配置 | 流量计，真空系统，触摸屏，远程控制，电脑显示 | ||||
以上参数可根据工艺要求进行调整，不作为验收依据，具体以技术方案和协议为准。
炉体结构
河南鸿炉快速退火炉可根据需求定制结构，滑动方向和滑轨长度可定制。
加热区尺寸
加热区客户可以根据处理材料的大小选择适合的尺寸。
气氛条件
气氛条件一般可通气氛为氮气、氩气等惰性气体，如果需要通入气体，可以单独设计气体进出口。
真空环境
利用机械泵与分子泵组合，可实现从低真空（10⁻¹-10⁻² Pa）到高真空（10⁻³Pa）的控制。
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