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国产教学小型PECVD设备：低温沉积与灵活教学的理想之选

发布时间：2025-12-04

国产教学小型PECVD设备河南鸿炉PECVD系统和小型滑轨式PECVD系统为代表，具有低温沉积、薄膜均匀性好、操作灵活等特点，适用于教学实验和小规模科研场景。以下是对国产教学小型PECVD设备的详细介绍：

一、核心特点
★低温沉积：
PECVD技术通过等离子体激活反应气体，使原本需要高温才能发生的化学反应在较低温度下即可进行。这一特点使得PECVD设备在沉积薄膜时，对基底材料的热损伤较小，特别适用于对温度敏感的材料，如塑料基底等。
★薄膜均匀性好：
国产教学小型PECVD设备采用射频馈入技术和气路分布设计，确保薄膜在基底上的均匀沉积。这对于教学实验来说至关重要，可以帮助学生更好地理解薄膜沉积的原理和过程。
★操作灵活：
设备通常配备可编程控温系统和多路质子流量控制系统，用户可以根据实验需求灵活调整温度和气体流量等参数。这种灵活性使得设备能够适应多种不同的薄膜沉积实验。
★占地面积小：
教学小型PECVD设备通常设计紧凑，占地面积小，便于在实验室中摆放和使用。这对于空间有限的实验室来说是一个重要的优势。

实验型PECVD系统点击查看详细介绍

二、适合教学使用的中小型设备类型
以河南鸿炉实验室型管式PECVD和小型滑轨式PECVD系统为例：
★加热系统技术参数：
①腔体尺寸：Φ40-100mm石英管，加热区200-600mm
②最高温度：可达1200℃（但实际使用温度通常≤1100℃），满足多种薄膜沉积需求。
③炉膛材料：采用氧化铝、高温纤维制品等耐高温材料，确保设备在高温下的稳定性和耐用性。
④控温方式：30段可编程控温，PID参数自整定，确保温度控制的精确性和稳定性。

小型滑轨式PECVD系统点击查看详细介绍

★PE系统技术参数：
①功率输出范围：0W~150W，满足不同实验对功率的需求。
②射频输出接口：50Ω，N-type，female，确保射频信号的稳定传输。
③功率稳定度：≤5W，确保实验过程中功率的稳定性。
④等离子源：13.56MHz射频电源，功率0-300W可调
⑤控制系统：PLC+触摸屏，支持5-10段程序控温
⑥真空系统：机械泵+分子泵组合，极限真空可达10⁻³Pa
⑦价格区间：5-30万元（具体以实际配置为准）

PECVD射频系统点击查看详细介绍

三、应用场景
国产教学小型PECVD设备主要适用于以下场景：
★高校实验室教学：
用于材料科学、微电子学、物理学等相关课程的教学实验，帮助学生理解薄膜沉积的原理和过程。
★科研机构小规模研究：
适用于科研机构进行小规模的薄膜沉积研究，探索新材料、新工艺的应用潜力。
★企业研发部门：
用于企业研发部门进行新产品的开发和测试，验证薄膜沉积工艺的可行性和稳定性。

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